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AHYR2110F_4軸真空直驅(qū)雙臂R型晶圓搬運(yùn)機(jī)器人

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AHYR2110F_4軸真空直驅(qū)雙臂R型晶圓搬運(yùn)機(jī)器人

AHYR2110F_4軸真空直驅(qū)雙臂B型晶圓搬運(yùn)機(jī)器人,自主研發(fā)安全可控,可全面替代進(jìn)口品牌。

產(chǎn)品描述


4軸真空直驅(qū)雙臂R型晶圓搬運(yùn)機(jī)器人
AHYR2110F_AHY系列半導(dǎo)體機(jī)器人
 
  • ● 高可靠真空隔離,從容應(yīng)對(duì)高真空環(huán)境
  • ● 電機(jī)直接驅(qū)動(dòng)機(jī)器人運(yùn)動(dòng),提升運(yùn)行可靠性
  • ● 高強(qiáng)度高剛性鋼帶傳動(dòng),實(shí)現(xiàn)手臂高傳動(dòng)精度
  • ● 采用閉環(huán)伺服控制,實(shí)現(xiàn)高精度位置控制

臂長(zhǎng)

213.4mm

  額定/最大負(fù)載

 ≤1kg

搬運(yùn)物

≤Φ300mm晶圓

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關(guān)鍵詞:

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規(guī)格參數(shù)

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聯(lián)系yL23411永利

圖片名稱(chēng)

智慧電梯:400-820-7921
變頻驅(qū)動(dòng):400-821-0325

運(yùn)動(dòng)控制:400-809-6368

多關(guān)節(jié)機(jī)器人:400-920-0275
SCARA機(jī)器人:400-168-2718
郵箱:market@hrbbcqc.com
地址:上海市嘉定區(qū)思義路1560號(hào),201802

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