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    AHYQ3510F_4軸真空直驅(qū)雙臂Q型晶圓搬運機器人

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    AHYQ3510F_4軸真空直驅(qū)雙臂Q型晶圓搬運機器人

    AHYQ3510F_4軸真空直驅(qū)雙臂B型晶圓搬運機器人,自主研發(fā)安全可控,可全面替代進口品牌。

    產(chǎn)品描述


    4軸真空直驅(qū)雙臂Q型晶圓搬運機器人
    AHYQ3510F_AHY系列半導(dǎo)體機器人
     
    • ● 高可靠真空隔離,從容應(yīng)對高真空環(huán)境
    • ● 電機直接驅(qū)動機器人運動,提升運行可靠性
    • ● 高強度高剛性鋼帶傳動,實現(xiàn)手臂高傳動精度
    • ● 采用閉環(huán)伺服控制,實現(xiàn)高精度位置控制
    • ● 同時實現(xiàn)雙工位交換晶圓動作(Swap)

    臂長

    355.5mm

      額定/最大負(fù)載

     ≤1kg

    搬運物

    ≤Φ300mm晶圓

    yL23411永利眾為興AHYQ7010F_4軸真空直驅(qū)雙臂Q型晶圓搬運機器人

    關(guān)鍵詞:

    yL23411永利眾為興AHYQ7010F_4軸真空直驅(qū)雙臂Q型晶圓搬運機器人

    規(guī)格參數(shù)

    yL23411永利眾為興AHYQ7010F_4軸真空直驅(qū)雙臂Q型晶圓搬運機器人


    聯(lián)系yL23411永利

    圖片名稱

    智慧電梯:400-820-7921
    變頻驅(qū)動:400-821-0325

    運動控制:400-809-6368

    多關(guān)節(jié)機器人:400-920-0275
    SCARA機器人:400-168-2718
    郵箱:market@hrbbcqc.com
    地址:上海市嘉定區(qū)思義路1560號,201802

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